Роль и характеристики чиллеров в производстве машин для вакуумного ионного нанесения покрытий.

A охладительпредставляет собой устройство охлаждающей воды, которое может обеспечивать постоянное давление, постоянную температуру и постоянный расход. Это происходит путем впрыскивания соответствующего количества воды в резервуар для воды, охлаждения воды через систему охлаждения и использования насоса для подачи охлаждающей воды к оборудованию, которое необходимо охладить. Охлаждающая вода отводит тепло в оборудовании для достижения охлаждающего эффекта. Охлаждающая вода добавляется в оборудование средней частоты главным образом из-за его высокой частоты и большого тока. Когда используется мишень для магнетронного распыления, она генерирует высокую температуру и деформирует пистолет, поэтому для охлаждения пистолета требуется водяная рубашка. Магнетронное распыление можно назвать одним из самых выдающихся достижений в технологии нанесения покрытий. Его преимуществами являются хорошая сила сцепления пленки с подложкой, высокая скорость распыления, низкий рост температуры подложки и хорошая стабильность устройства. Чиллер имеет независимую систему циркуляции воды и независимую систему охлаждения, на которую не влияет внешняя среда. В совокупности эти функции обеспечивают надежный контроль температуры и высококачественные результаты нанесения покрытия в процессе вакуумно-ионного покрытия.

Функции и характеристики охладителя в машине для вакуумного ионного нанесения покрытия включают в себя:

1. Охлаждение мишени: мишень в вакуумной машине для нанесения ионного покрытия используется для генерации ионов металлов, но в процессе нанесения покрытия выделяется много тепла. Чиллер быстро охлаждает мишень через циркуляционную систему охлаждения, чтобы поддерживать нормальную рабочую температуру мишени, предотвращать перегрев оборудования, который может привести к выходу из строя или снижению качества покрытия, а также обеспечивать стабильный выход ионов.

2.Контроль стабильности:охладительможет стабильно контролировать температуру оборудования, чтобы гарантировать стабильную работу оборудования в нормальном диапазоне рабочих температур. Это помогает поддерживать консистенцию и стабильность покрытия, улучшая консистенцию и надежность качества покрытия.

3. Высокоточная регулировка. Рабочие параметры чиллера можно регулировать в соответствии с конкретными требованиями, включая температуру, расход и давление охлаждающей воды. Это позволяет охладителю обеспечивать точный контроль температуры в соответствии с различными требованиями к нанесению покрытия, обеспечивая стабильность и высокое качество процесса нанесения покрытия.

3. Экономия энергии: высокоэффективная охлаждающая способность и функция точного управления охладителем помогают снизить потребление энергии. Эффективно контролируя температуру оборудования, можно сократить дополнительные потери энергии и повысить эффективность использования энергии.

5. Защита окружающей среды: применение охладителя в машине для нанесения ионного покрытия в вакууме может снизить негативное воздействие на окружающую среду. Он использует циркулирующую воду для охлаждения, снижает потребление воды и производит меньший шум и вибрацию во время работы.

6. Экологический контроль: применение охладителя в вакуумно-ионной машине для нанесения покрытия также позволяет контролировать температуру и влажность окружающей среды, обеспечивая хорошую рабочую среду. Соответствующая температура и влажность окружающей среды могут увеличить степень вакуума, уменьшить воздействие примесей и газов и улучшить качество покрытия.

Подводя итог, можно сказать, что применениечиллерыВ машинах для нанесения ионного покрытия в вакууме охватываются многие аспекты, такие как охлаждение мишеней, охлаждающие подложки, охлаждающее оборудование и контроль окружающей среды, обеспечение контроля температуры оборудования и заготовок в процессе нанесения покрытия, улучшение качества покрытия и производительности.